武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精鸿电子技术有限公司杜建获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精鸿电子技术有限公司申请的专利一种用于晶圆测试的高速高密测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115372794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210989021.5,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权一种用于晶圆测试的高速高密测试装置是由杜建;魏海波设计研发完成,并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆测试的高速高密测试装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种用于晶圆测试的高速高密测试装置,包括:高速高密连接器,其包括若干第一插接件和若干第二插接件,各所述第一插接件和各所述第二插接件之间通过同轴线缆连接;测试机,所述测试机设有多块向被测晶圆发出测试信号的信号测试板,所述信号测试板上设有若干连接第一插接件的第一板端连接器;探针卡,所述探针卡上设有若干连接第二插接件的第二板端连接器,以及固定在探针卡上与被测晶圆连接的若干探针。本申请的高速高密连接装置的高速高密连接器对高速高频信号的链路损失较小,减少了现有弹簧针连接方案多个链路的信号链路损失,提高了测试设备信号完整性和可靠性。
本发明授权一种用于晶圆测试的高速高密测试装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆测试的高速高密测试装置,其特征在于,包括: 高速高密连接器1,其包括若干第一插接件11和若干第二插接件12,各所述第一插接件11和各所述第二插接件12之间通过同轴线缆13连接; 测试机3,所述测试机3设有多块向被测晶圆发出测试信号的信号测试板31,所述信号测试板31上设有若干连接第一插接件11的第一板端连接器32; 探针卡2,所述探针卡2上设有若干连接第二插接件12的第二板端连接器21,以及固定在探针卡2上与被测晶圆连接的若干探针22。
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