华海清科股份有限公司李长坤获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆竖直清洗装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210756707.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆竖直清洗装置和方法是由李长坤;赵德文;路新春;曹自立设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆竖直清洗装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆竖直清洗装置和方法，其中方法包括：在滚动的清洗刷对旋转的晶圆进行滚动刷洗时，使第一喷淋杆将清洗液供给至位于清洗刷上方的晶圆表面的上部区域；使第二喷淋杆将清洗液供给至位于清洗刷下方的晶圆表面的下部区域，其中，所述下部区域相对于晶圆的旋转方向位于清洗刷的上游侧区域。
本发明授权一种晶圆竖直清洗装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆竖直清洗装置，其特征在于，包括： 晶圆旋转组件，用于支撑晶圆并驱动晶圆在竖直面内旋转； 两个清洗刷，分别设置于晶圆的两侧并对晶圆表面进行滚动刷洗，所述两个清洗刷以相反方向滚动，并且其与晶圆接触位置向晶圆施加向下的摩擦力； 清洗刷驱动机构，用于支撑清洗刷并驱动清洗刷移动和转动； 第一喷淋杆，用于将清洗液供给至位于清洗刷上方的晶圆表面的上部区域； 第二喷淋杆，用于将清洗液供给至位于清洗刷下方的晶圆表面的下部区域，其中，所述下部区域相对于晶圆的旋转方向位于清洗刷的上游侧区域，所述第二喷淋杆用于喷淋化学液，以防止清洗刷回沾污染物。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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