浙江西亚特电子材料有限公司杨利获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江西亚特电子材料有限公司申请的专利一种三氯硅烷尾气吸收的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115155289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210716338.1，技术领域涉及：B01D53/78；该发明授权一种三氯硅烷尾气吸收的装置是由杨利;白占旗;陈甫设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三氯硅烷尾气吸收的装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三氯硅烷尾气吸收的装置，包括液体升温存储箱、第三输气管和控制箱，所述液体升温存储箱内缠绕有蛇形进气管，且蛇形进气管一端与第一排气管相连通，同时液体升温存储箱上固定有搅拌自清洁组件，所述第一排气管上固定有气体增压机构，所述第三输气管一端与第一尾气处理组件相连通，所述第四输气管一端与有毒气体处理组件相连通，所述第一尾气处理组件通过排水管与盐酸液体存储罐相连通。该三氯硅烷尾气吸收的装置，本发明可对三氯硅烷尾气进行预升温处理，可对液体升温存储箱内起到搅拌作用，可对三氯硅烷尾气进行预处理，可对预处理时产生的蒸馏水进行收集使用，可再次对三氯硅烷尾气有害气体进行处理的优点。
本发明授权一种三氯硅烷尾气吸收的装置在权利要求书中公布了：1.一种三氯硅烷尾气吸收的装置，包括液体升温存储箱1、第三输气管9和控制箱16，其特征在于： 所述液体升温存储箱1内缠绕有蛇形进气管2，且蛇形进气管2一端与第一排气管4相连通，同时液体升温存储箱1上固定有搅拌自清洁组件3，所述第一排气管4上固定有气体增压机构5，且气体增压机构5通过第二输气管6与第一尾气处理组件7相连通，同时第一尾气处理组件7上设置有蒸馏水回收组件8； 所述第三输气管9一端与第一尾气处理组件7相连通，且第三输气管9另一端与尾气检测器10相连通，同时尾气检测器10一端贯穿有第四输气管11，所述第四输气管11一端与有毒气体处理组件15相连通，且第四输气管11上贯穿有第二输气管12，所述第一尾气处理组件7通过排水管与盐酸液体存储罐13相连通，且盐酸液体存储罐13上固定有自动清洁组件14。
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