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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利一种MEMS元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115278488B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210650761.6，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权一种MEMS元件是由博迪尤安·詹姆斯;卡吉尔斯科特·莱尔设计研发完成，并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS元件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS元件，MEMS元件包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖背腔，振膜包括相对设置的上膜片和下膜片，上膜片与下膜片之间形成容纳空间；对电极，设于容纳空间内；若干支撑件，设置在所述上膜片和所述下膜片之间，所述支撑件的相对两端分别连接所述上膜片和所述下膜片，至少于其中一个所述支撑件内，开设有若干第一腔室；第一腔室于上膜片上贯穿有上通风槽、于下膜片上贯穿有下通风槽，上通风槽与下通风槽相连通。与现有技术相比，本发明的上通风槽与下通风槽相连通以构成通风结构，从而不会降低振膜的局部刚度，同时可以提高振膜的柔顺性和麦克风的灵敏度。

本发明授权一种MEMS元件在权利要求书中公布了：1.一种MEMS元件，包括： 基底，一背腔穿过所述基底； 振膜，与所述基底连接，并覆盖所述背腔，所述振膜包括相对设置的上膜片和下膜片，所述上膜片与所述下膜片之间形成容纳空间； 对电极，设于所述容纳空间内； 若干同心且间隔设置的支撑件，设置在所述上膜片和所述下膜片之间并与所述对电极相间隔，所述支撑件的相对两端分别连接所述上膜片和所述下膜片，至少于其中一个所述支撑件内开设有若干第一腔室； 其特征在于： 所述MEMS元件于所述上膜片上对应所述第一腔室处贯穿有上通风槽、于所述下膜片上对应所述第一腔室处贯穿有下通风槽，所述上通风槽、所述第一腔室与所述下通风槽相连通； 所述上膜片包括若干朝向所述容纳空间凸出且相互之间间隔设置的第一凸起，所述下膜片包括若干朝向所述容纳空间凸出且相互之间间隔设置的第二凸起，若干所述支撑件、若干所述第一凸起以及若干所述第二凸起均一一对应，所述支撑件两端分别与所述第一凸起和所述第二凸起连接，所述上通风槽开设于所述第一凸起上，所述下通风槽开设于所述第二凸起上。

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