北京北方华创微电子装备有限公司曹凯悦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975183B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210607885.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备是由曹凯悦;高飞;王旸;李凡;杨浩;杨哲;任志豪;张强设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的补水控制方法、扩散工艺方法和半导体工艺设备，该补水控制方法包括：获取各个炉管需要预约的补水时间段信息；根据各个炉管需要预约的补水时间段信息，更新当前的预约队列；根据更新的预约队列中已预约的补水时间段信息，设置液体蒸发器对各个炉管的可用状态或不可用状态，以使液体蒸发器在同一时刻只能向一个炉管进行补水。本发明通过提前获取需要预约的炉管的补水时间段信息，使得各个预约炉管可以按照时间先后顺序进行补水，避免了在工艺过程中的人工干预，通过设置液体蒸发器对各个炉管的可用状态或不可用状态，以使液体蒸发器在同一时刻只能被一个炉管占用，降低了工艺过程中出现工艺等待的概率，提高了生产效率。
本发明授权半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的补水控制方法，其特征在于，所述半导体工艺设备包括液体蒸发器和共用所述液体蒸发器的多个炉管，所述方法包括： 获取各个所述炉管需要预约的补水时间段信息； 根据各个所述炉管需要预约的补水时间段信息，更新当前的预约队列； 根据更新的所述预约队列中已预约的补水时间段信息，设置所述液体蒸发器对各个所述炉管的可用状态或不可用状态，以使所述液体蒸发器在同一时刻只能向一个所述炉管进行补水。
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