株式会社岛津制作所平出雅人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社岛津制作所申请的专利扫描探针显微镜以及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115407086B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210517615.6，技术领域涉及：G01Q10/06；该发明授权扫描探针显微镜以及控制方法是由平出雅人设计研发完成，并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描探针显微镜以及控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种扫描探针显微镜以及控制方法。SPM100用于测定试样S。SPM100具备：试样台14，其用于配置试样S；探针3，其以与试样S相向的方式配置；微动机构12，其通过以使作用于探针3与试样S之间的原子力成为固定的方式执行反馈控制，来使探针3沿着试样S的表面相对地移动；以及信息处理装置20，在尽管执行了反馈控制但原子力未成为固定的情况下，信息处理装置20停止试样S的测定。
本发明授权扫描探针显微镜以及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种扫描探针显微镜，用于测定试样，具备： 试样台，其用于配置所述试样； 探针，其以与所述试样相向的方式配置； 第一驱动机构，其通过以使作用于所述探针与所述试样之间的物理量成为固定的方式执行第一控制，来使所述探针沿着所述试样的表面相对地移动；以及 控制装置，在尽管执行了所述第一控制但所述物理量未成为固定的情况下，所述控制装置停止所述试样的测定， 所述控制装置进行如下处理： 使所述探针在所述试样的相同的测定路径中在第一方向和第二方向上相对地往复移动，来获取所述试样的测定数据，其中，所述第一方向及所述第二方向与所述试样的高度方向正交，所述第二方向是与该第一方向相反的方向， 在所述物理量未成为固定的情况下，在通过所述探针在所述第一方向上的移动而获取到的第一测定数据与使通过所述探针在所述第二方向上的移动而获取到的第二测定数据的时间序列逆转而得到的数据的一致度大于阈值的情况下，对表示所述试样具有过大的凹部或过大的凸部的原因的原因信息进行存储， 在所述物理量未成为固定的情况下，在所述一致度小于所述阈值的情况下，对表示产生了所述扫描探针显微镜的热漂移的原因的原因信息进行存储。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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