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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺腔室及平行度的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114914147B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210496614.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种工艺腔室及平行度的检测方法是由王月姣;刘振华;李云飞;赵忠生;郭士选设计研发完成，并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺腔室及平行度的检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种工艺腔室及平行度的检测方法，工艺腔室包括腔室本体和盖设于腔室本体上方的腔室盖板；承载装置具有承载晶圆的承载面；介质窗具有与承载面相对设置的第一表面和远离承载面的第二表面；检测组件包括处理器和设置于腔室盖板上的多个检测器，沿每个检测器在承载面的投影方向，第二表面与对应的检测器之间具有第一距离，第一表面与承载面之间具有第二距离，检测器与承载面之间具有第三距离，检测器检测对应的第一距离，处理器根据多个第一距离和预先获得的多个第三距离计算多个第二距离两两之间的差值，并将多个差值的绝对值分别与预设阈值进行比较；多个调平组件与介质窗连接。本申请的工艺腔室检测以及调平操作简单，效率高。

本发明授权一种工艺腔室及平行度的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，应用于半导体设备，其特征在于，包括： 腔室本体和盖设于所述腔室本体上方的腔室盖板； 承载装置，所述承载装置设置于所述腔室本体内，且具有承载晶圆的承载面；所述承载装置为电极； 介质窗，所述介质窗设置于所述腔室本体内，且具有与所述承载面相对设置的第一表面和远离所述承载面的第二表面； 检测组件，所述检测组件包括处理器和设置于所述腔室盖板上的多个检测器，沿每个所述检测器在所述承载面的投影方向，所述第二表面与对应的所述检测器之间具有第一距离，所述第一表面与所述承载面之间具有第二距离，所述检测器与所述承载面之间具有第三距离，所述检测器用于检测对应的所述第一距离，所述处理器与多个所述检测器电连接，用于根据多个所述第一距离和预先获得的多个所述第三距离计算多个所述第二距离两两之间的差值，并将多个所述差值的绝对值分别与预设阈值进行比较； 多个调平组件，多个所述调平组件与多个所述检测器在竖直方向上一一对应设置，各所述调平组件设置于与其对应的所述检测器的上方，所述介质窗与多个所述调平组件连接，多个所述调平组件与所述腔室盖板抵顶连接。

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