上海芯源微企业发展有限公司邓岗获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利显影喷嘴获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114895537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210319756.7，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权显影喷嘴是由邓岗;程虎设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影喷嘴在说明书摘要公布了：本发明提供了一种显影喷嘴，包括：储液腔体，所述储液腔体包括流入口和流出口，用于显影液的流入和流出；喷嘴主体，所述喷嘴主体固定连接所述流出口，与所述储液腔体内部相通，使显影液从所述喷嘴主体流出；设置于所述流出口的匀流板，用于控制显影液的积累和流出，当所述储液腔体内压力低于阈值，显影液在所述储液腔体内积累，当所述储液腔体内压力达到阈值，显影液通过所述匀流板从所述喷嘴主体流出，能改善所述喷嘴主体开口处各个位置处显影液流量的均匀性，进而有利于提高基板显影均匀性。
本发明授权显影喷嘴在权利要求书中公布了：1.一种显影喷嘴，其特征在于，包括：储液腔体，所述储液腔体包括流入口和流出口，用于显影液的流入和流出；喷嘴主体，所述喷嘴主体固定连接所述流出口，与所述储液腔体内部相通，使显影液从所述喷嘴主体流出；设置于所述流出口的匀流板，用于控制显影液的积累和流出，当所述储液腔体内压力低于阈值，显影液在所述储液腔体内积累，当所述储液腔体内压力达到阈值，显影液通过所述匀流板从所述喷嘴主体流出；所述匀流板为亲水性矿物板，其上设置有密集小孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯源微企业发展有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区临港新片区旭日路501号1幢201、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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