苏州大学张程获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114721077B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210294478.4,技术领域涉及:G02B5/00;该发明授权一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器是由张程;李昊宇;李孝峰;孙倜;王钦华设计研发完成,并于2022-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器在说明书摘要公布了:本申请公开一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器。该超宽带光学吸收器的工作波段为别为可见‑近红外波段或中红外波段;在基底上依次层叠高反射金属膜层、过渡金属膜层、电介质膜层;高反射金属膜层、多层过渡金属膜层、电介质膜层组成平面多层结构,利用高反射金属膜层来阻止光透过,吸收器中多层过渡金属膜层和电介质膜层的组合降低了反射,从而实现了超宽波段高效光学吸收的效果。该光学吸收器在400~2500nm的可见‑近红外波段可以实现超过92%的平均吸收率;在3~16μm的中红外波段可以实现超过80%的平均吸收率。吸收器对于入射角度和光的偏振性不敏感,结构工艺简单,膜层的加工误差对性能影响小,成品率高,适用于大面积制备。
本发明授权一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器在权利要求书中公布了:1.一种基于多层过渡金属层的超宽带光学吸收器,其工作波段为可见-近红外波段或中红外波段,其特征在于: 包括:基底、设置在基底上的平面多层结构, 所述平面多层结构,包括高反射金属膜层及设置在高反射金属膜层上至少3层光吸收薄膜结构,每层光吸收薄膜结构皆包括过渡金属膜层及电介质膜层,且每层中过渡金属膜层的厚度小于电介质膜层的厚度, 所述超宽带光学吸收器的厚度小于3000nm; 所述平面多层结构包括3层依次层叠的光吸收薄膜结构,且配置成依次层叠的高反射金属膜层、第一过渡金属膜层、第一电介质膜层、第二过渡金属膜层、第二电介质膜层、第三过渡金属膜层及第三电介质膜层; 且所述第一过渡金属膜层的厚度大于第二过渡金属膜层的厚度及大于第三过渡金属膜层的厚度; 所述第一过渡金属膜层的材料为Ti,其厚度介于40~70nm; 第一电介质膜层材料为MgF2,其厚度介于90~110nm; 第二过渡金属膜层的材料为Ti,其厚度介于10~13nm; 第二电介质膜层材料为MgF2,其厚度介于110~130nm; 第三过渡金属膜层的材料为Ti,其厚度介于4~7nm; 第三电介质膜层材料为MgF2,其厚度介于90~110nm; 以平面多层结构的等效光学导纳等于空气的光学导纳值为优化目标,设计平面多层结构中各层的材料和厚度;利用真空镀膜的方式,在基底表面沉积平面多层结构。
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