北京北方华创微电子装备有限公司崔少飞获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114400194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210180594.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备是由崔少飞;鲁艳成设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备，包括整机支架、上电极系统、反应腔室、真空系统、电气小车和电气柜，其中：上电极系统、反应腔室和真空系统均设于整机支架上；电气小车包括车架、第一支撑装置和至少两个移动装置，电气柜设于车架上；车架的一端部铰接于整机支架，以使电气小车可在工作位置和避让位置之间转动切换；至少两个移动装置设于车架的底部；整机支架具有承载平台，第一支撑装置设于车架的底面，且位于车架的铰接侧边缘；第一支撑装置背离车架的一端与承载平台的顶面相抵接，第一支撑装置可随电气小车转动而在承载平台的顶面上移动。上述方案能够优化对电气小车的车架底部的支撑效果。
本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括整机支架、上电极系统、反应腔室、真空系统、电气小车和电气柜，其中： 所述上电极系统、所述反应腔室和所述真空系统均设于所述整机支架上； 所述电气小车包括车架、第一支撑装置和至少两个移动装置，所述电气柜设于所述车架上；所述车架的一端部铰接于所述整机支架，以使所述电气小车可在工作位置和避让位置之间转动切换；所述至少两个移动装置设于所述车架的底部，所述移动装置位于所述车架的铰接侧相背离的一侧，并用于支撑所述车架； 所述整机支架具有承载平台，第一支撑装置设于所述车架的底面，且位于所述车架的铰接侧边缘；所述第一支撑装置背离所述车架的一端与所述承载平台的顶面相抵接，所述第一支撑装置可随所述电气小车转动而在所述承载平台的顶面上移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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