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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530401B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210159206.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备及控制方法是由王伟;沈浩;周清军;彭宇霖设计研发完成，并于2022-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体工艺设备及控制方法，所述半导体工艺设备包括半导体腔室和工艺管路100，所述半导体腔室与所述工艺管路100相连通，所述半导体工艺设备还包括颗粒物检测件200和报警器300；所述颗粒物检测件200设置于所述工艺管路100，用于检测所述工艺管路100内的颗粒物的数量，所述报警器300与所述颗粒物检测件200电连接，当所述颗粒物检测件200检测到的颗粒物的数量大于或等于预设数量的情况下，所述报警器300发出报警信号，以使所述半导体工艺设备停止工艺。上述方案能够解决半导体工艺设备在工艺过程中大量晶圆被污染的问题。

本发明授权半导体工艺设备及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括半导体腔室和工艺管路（100），所述半导体腔室与所述工艺管路（100）相连通，其特征在于，所述半导体工艺设备还包括颗粒物检测件（200）和报警器（300）； 所述颗粒物检测件（200）设置于所述工艺管路（100），所述工艺管路（100）用于为所述半导体腔室通入工艺气体，所述颗粒物检测件（200）用于检测所述工艺管路（100）内的颗粒物的数量，所述报警器（300）与所述颗粒物检测件（200）电连接，当所述颗粒物检测件（200）检测到的颗粒物的数量大于或等于预设数量的情况下，所述报警器（300）发出报警信号，以使所述半导体工艺设备停止工艺； 所述工艺管路（100）的外侧壁开设有通孔（101），所述颗粒物检测件（200）的检测端通过所述通孔（101）伸入所述工艺管路（100）内； 所述工艺管路（100）的外侧表面设置有安装凸台（102），所述通孔（101）贯穿所述安装凸台（102）； 所述半导体工艺设备还包括第一安装板（103）和第二安装板（104），所述第一安装板（103）开设有第一安装孔（1032），所述第二安装板（104）开设有第二安装孔（1041），所述第一安装板（103）安装于所述安装凸台（102）上，所述第二安装板（104）设置于所述第二安装板（104）背离所述安装凸台（102）的一侧，所述第一安装孔（1032）、所述第二安装孔（1041）和所述通孔（101）均相连通，所述颗粒物检测件（200）的检测端依次通过所述第二安装孔（1041）、所述第一安装孔（1032）和所述通孔（101）伸入至所述工艺管路（100）内； 所述颗粒物检测件（200）的外侧壁上设置有凸起（201），所述凸起（201）夹持于所述第一安装板（103）和所述第二安装板（104）之间，以固定所述颗粒物检测件（200）。

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