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北京华卓精科科技股份有限公司邢浩获国家专利权

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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114648489B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210141283.6,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置是由邢浩;张豹设计研发完成,并于2022-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。

键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置,该方法包括:获取包含刀片以及所述刀片插入所产生的裂缝的目标图像;识别所述目标图像以确定所述刀片前端的第一边缘,获取所述第一边缘所在位置的第一坐标数据;识别所述目标图像以确定所述裂缝所在的区域远离所述刀片一侧的曲形的第二边缘,获取所述第二边缘的顶点所在位置的第二坐标数据;根据所述第一坐标数据与第二坐标数据,计算出所述第一边缘与所述第二边缘之间的目标距离。基于本发明的技术方案,可以通过图像识别自动求取裂缝区域在扩展方向上的宽度,从而自动计算并评估晶圆键合结构的键合强度,实现自动化检测,解决人工检测操作存在的效率低、测量精度差的问题。

本发明授权键合能检测的图像处理方法、处理装置及检测装置在权利要求书中公布了:1.一种键合能检测的图像处理方法,其特征在于,包括: 获取包含刀片以及所述刀片插入所产生的裂缝的目标图像; 识别所述目标图像以确定所述刀片前端的第一边缘,获取所述第一边缘所在位置的第一坐标数据; 识别所述目标图像以确定所述裂缝所在的区域远离所述刀片一侧的曲形的第二边缘,获取所述第二边缘的顶点所在位置的第二坐标数据; 根据所述第一坐标数据与第二坐标数据,计算出所述第一边缘与所述第二边缘之间的目标距离; 识别所述目标图像以确定所述刀片前端的第一边缘,包括: 对所述目标图像上的所述刀片所在位置的图案进行边缘检测,获得所述刀片的刀片边缘图像; 根据方位,从所述刀片边缘图像中提取出最下方的像素点构成的直线段作为所述第一边缘并消除所述刀片边缘图像中的其余部分; 识别所述目标图像以确定所述裂缝所在区域远离所述刀片一侧的曲形的第二边缘,包括: 对所述目标图像上的所述裂缝所在区域的图案进行边缘检测,获得所述裂缝所在的裂缝区域的裂缝边缘图像; 根据方位,从所述裂缝边缘图像中提取出最上方的像素点构成的曲线段作为第二边缘并消除所述裂缝边缘图像中的其余部分; 判断所述目标图像上是否具有半导体图案; 若所述目标图像上有半导体图案,则对所述目标图像上的所述裂缝所在区域的图案分别进行两次检测参数不同的边缘检测,获得两个边缘检测结果图像; 将两个边缘检测结果图像叠加,剔除二者图案重叠的部分后,输出为所述裂缝边缘图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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