北京石墨烯研究院;北京大学王雄彪获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;北京大学申请的专利石墨烯薄膜的套管式沉积装置及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116621165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210135346.7，技术领域涉及：C01B32/186；该发明授权石墨烯薄膜的套管式沉积装置及制备方法是由王雄彪;曹风;彭海琳;李科;徐涛;沈伟;刘忠范设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本石墨烯薄膜的套管式沉积装置及制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种套管式等离子体增强化学气相沉积装置，用于制备石墨烯薄膜，包括放卷仓、收卷仓、内套管、外套管、射频线圈。放卷仓内设置有放卷轮，收卷仓内设置有收卷轮，内套管密封连接放卷仓和收卷仓，外套管设置在内套管的外部，射频线圈螺旋设置在内套管和外套管之间。通过以上设计，可实现等离子体空间和高温环境空间的重叠的同时做到射频线圈的有效保护，在提高离子体的利用效率的同时延长射频线圈的使用寿命，并且设计简单，操作简便，可降低石墨烯薄膜的生产成本。
本发明授权石墨烯薄膜的套管式沉积装置及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种套管式等离子体增强化学气相沉积装置，用于制备石墨烯薄膜，其特征在于：包括： 放卷仓，所述放卷仓内设置有放卷轮； 收卷仓，所述收卷仓内设置有收卷轮； 内套管，所述内套管密封连接所述放卷仓和所述收卷仓； 外套管，设置在所述内套管的外部； 射频线圈，所述射频线圈螺旋设置在所述内套管和所述外套管之间； 加热炉，设置在所述放卷仓和所述收卷仓之间，所述加热炉容纳所述外套管和所述射频线圈，所述内套管贯穿所述加热炉。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京石墨烯研究院;北京大学，其通讯地址为：100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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