中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司张戈获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利图形修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116560195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210113692.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权图形修正方法是由张戈;严中稳设计研发完成，并于2022-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本图形修正方法在说明书摘要公布了：一种图形修正方法，包括：提供待修正版图，待修正版图包括若干待修正图形；提供第一目标版图，第一目标版图包括若干与若干待修正图形一一对应的第一目标图形；对待修正版图进行第一光学临近修正，获取第一修正版图，第一修正版图包括若干与待修正图形对应的第一修正图形；获取若干第一修正图形的第一边缘放置误差；基于各所述第一边缘放置误差，确定若干第一修正图形中的待处理修正图形；在若干第一目标图形中获取与待处理修正图形对应的待补偿目标图形；根据第一边缘放置误差对待补偿目标图形进行补偿，获取第二目标图形；根据第二目标图形对待处理修正图形进行第二光学临近修正，获取第二修正图形。所述方法修正结果精确。
本发明授权图形修正方法在权利要求书中公布了：1.一种图形修正方法，其特征在于，包括： 提供待修正版图，所述待修正版图包括若干待修正图形； 提供第一目标版图，所述第一目标版图包括若干第一目标图形，所述第一目标图形与若干待修正图形一一对应； 对所述待修正版图进行第一光学临近修正，获取第一修正版图，所述第一修正版图包括若干与待修正图形对应的第一修正图形； 获取若干第一修正图形的第一边缘放置误差； 基于各所述第一边缘放置误差，确定若干第一修正图形中的待处理修正图形； 在所述若干第一目标图形中获取与所述待处理修正图形对应的待补偿目标图形； 根据所述第一边缘放置误差对所述待补偿目标图形进行补偿，获取第二目标图形； 根据所述第二目标图形对所述待处理修正图形进行第二光学临近修正，获取第二修正图形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：300385 天津市西青区天津市西青经济开发区兴华道19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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