中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司严中稳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利光学邻近修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116560192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210108869.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光学邻近修正方法是由严中稳;王晨设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学邻近修正方法在说明书摘要公布了：一种光学邻近修正方法，包括：获取初始版图，所述初始版图包括若干初始图形；对所述初始版图进行缺陷检测，确定缺陷位置；在所述缺陷位置形成第一缺陷标记，所述第一缺陷标记包括可偏移的边界；根据所述缺陷位置，确定缺陷初始图形、对应所述缺陷初始图形的指定初始图形以及缺陷偏移方向；沿所述缺陷偏移方向偏移所述第一缺陷标记中与所述缺陷偏移方向垂直的边界，形成第二缺陷标记，所述第二缺陷标记与所述指定初始图形之间的最小间距小于相邻初始图形之间的预设最小间距；根据所述第二缺陷标记，确定所述缺陷初始图形中的待修正线段，并对所述初始版图进行修正。所述光学邻近修正方法可提高光学邻近修正的准确性和效率。
本发明授权光学邻近修正方法在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近修正方法，其特征在于，包括： 获取初始版图，所述初始版图包括若干初始图形； 对所述初始版图进行缺陷检测，确定缺陷位置； 在所述缺陷位置形成第一缺陷标记，所述第一缺陷标记包括可偏移的边界； 根据所述缺陷位置，确定缺陷初始图形、对应所述缺陷初始图形的指定初始图形以及缺陷偏移方向； 沿所述缺陷偏移方向偏移所述第一缺陷标记中与所述缺陷偏移方向垂直的边界，形成第二缺陷标记，所述第二缺陷标记与所述指定初始图形之间的最小间距小于相邻初始图形之间的预设最小间距； 根据所述第二缺陷标记，确定所述缺陷初始图形中的待修正线段，并对所述初始版图进行修正。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：300385 天津市西青区天津市西青经济开发区兴华道19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号