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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利静电卡盘装置和温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496889B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210074039.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电卡盘装置和温度控制方法是由刘建设计研发完成，并于2022-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电卡盘装置和温度控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种静电卡盘装置和温度控制方法，静电卡盘装置，包括自下而上依次设置的装置基体、加热层以及绝缘吸附层，所述加热层中设置有至少两个主加热器，所述主加热器用于加热所述静电卡盘装置承载的晶圆，所述绝缘吸附层中设置有吸附电极，所述吸附电极用于吸附所述晶圆；所述静电卡盘装置还包括控制器，所述绝缘吸附层中还设置有多个补偿加热器，多个所述补偿加热器均与所述吸附电极绝缘设置，且多个所述补偿加热器均与所述控制器电连接，所述控制器用于控制各所述补偿加热器的开启或关断，以及控制各所述补偿加热器的功率。上述技术方案能够解决因目前被加工件上不同位置的温度可能存在偏差，导致被加工件的工艺均匀性较差的问题。

本发明授权静电卡盘装置和温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种温度控制方法，其特征在于，所述温度控制方法应用于静电卡盘装置，所述静电卡盘装置包括自下而上依次设置的装置基体、加热层以及绝缘吸附层，所述加热层中设置有至少两个主加热器，所述主加热器用于加热所述静电卡盘装置承载的晶圆，所述绝缘吸附层中设置有吸附电极，所述吸附电极用于吸附所述晶圆；所述静电卡盘装置还包括控制器，所述绝缘吸附层中还设置有多个补偿加热器，多个所述补偿加热器均与所述吸附电极绝缘设置，且多个所述补偿加热器均与所述控制器电连接，所述控制器用于控制各所述补偿加热器的开启或关断，以及控制各所述补偿加热器的功率； 所述温度控制方法包括： S1、建立工艺步骤与目标补偿加热器之间的对应关系，其中，所述目标补偿加热器为进行各所述工艺步骤时，多个所述补偿加热器中除多个原始工艺结果的极值所在位置对应的所述补偿加热器之外的其余所述补偿加热器，所述原始工艺结果为在保持所述加热层中的所述至少两个主加热器开启，且保持各所述补偿加热器均关闭的状态下，进行各所述工艺步骤的所述晶圆上与多个所述补偿加热器对应的位置处的工艺结果，在所述工艺结果与所述晶圆上对应位置处的温度呈正相关的情况下，所述极值为最大值，在所述工艺结果与所述晶圆上对应位置处的温度呈负相关的情况下，所述极值为最小值； S2、获取即将进行的工艺步骤，控制所述加热层中的各所述主加热器开启，且根据所述对应关系，控制与即将进行的所述工艺步骤对应的各所述目标补偿加热器开启。

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