东京毅力科创株式会社森淳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823263B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210014555.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置是由森淳;川上聪设计研发完成，并于2022-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够兼顾旋转臂的旋转机构向真空处理容器的中央部的设置和排气路径的简单化的基板处理装置。基板处理装置具有真空处理容器和旋转轴位于真空处理容器的中央部的旋转臂，在旋转臂中，内部为中空的旋转筒构成旋转轴，旋转筒的中空部构成真空处理容器的排气路径。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 该基板处理装置具有： 真空处理容器；以及 旋转臂，其旋转轴位于所述真空处理容器的中央部， 在所述旋转臂中，内部为中空的旋转筒构成所述旋转轴，所述旋转筒的中空部构成所述真空处理容器的排气路径， 其中，所述旋转筒由同轴磁性流体密封件的外筒构成， 所述排气路径由所述同轴磁性流体密封件的内筒构成， 所述同轴磁性流体密封件的所述内筒承受对所述基板处理装置的中心部施加的真空负荷。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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