细美事有限公司河道炅获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于供应液体的设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695189B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111612794.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于供应液体的设备及方法是由河道炅;梁承太设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于供应液体的设备及方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种液体供应单元。液体供应单元包括：罐，具有用于储存液体的内部空间；入口管线，用于将液体从液体供应源供应到内部空间且入口管线上安装有入口阀；出口管线，用于将液体从罐供应到喷嘴或将液体回收到罐且出口管线上安装有出口阀；气体供应管线，用于向内部空间供应气体且气体供应管线上安装有气体控制阀；排气管线，用于从内部空间排气且排气管线上安装有排气阀；循环管线，用于使储存在内部空间中的液体循环；以及控制器，其中控制器构造为控制液体供应单元，使得在向内部空间供应液体的同时对循环管线进行加压。
本发明授权用于供应液体的设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于供应液体的液体供应单元，包括： 罐，所述罐具有用于储存所述液体的内部空间； 入口管线，所述入口管线用于将所述液体从液体供应源供应至所述内部空间且所述入口管线上安装有入口阀； 出口管线，所述出口管线用于将所述液体从所述罐供应至喷嘴或用于将所述液体回收至所述罐，且所述出口管线上安装有出口阀； 气体供应管线，所述气体供应管线用于供应气体至所述内部空间且所述气体供应管线上安装有气体控制阀； 排气管线，所述排气管线用于从所述内部空间排气且所述排气管线上安装有排气阀； 循环管线，所述循环管用于使储存于所述内部空间中的液体循环；以及 控制器； 其中，所述控制器被构造为控制所述液体供应单元，使得当液体被供应至所述内部空间时，所述循环管线被加压。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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