东京毅力科创株式会社宇津木康史获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利除电方法和等离子体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664625B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111500119.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权除电方法和等离子体处理系统是由宇津木康史;冨山和哉;前田高志;北野拓磨设计研发完成，并于2021-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本除电方法和等离子体处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种除电方法和等离子体处理系统。本发明的一个方式的除电方法，其在用处理等离子体对吸附在静电吸盘上的基片进行处理之后，对静电吸盘和基片进行除电，其包括：步骤a，在所述处理之后，生成除电等离子体；步骤b，在步骤a之后，使施加到吸附电极的吸附电压停止；步骤c，在步骤b之后，将吸附电极与经由电阻部而接地的接地线路连接，其中，电阻部能够将电阻值至少设定为第1电阻值和比该第1电阻值小的第2电阻值中的任一者；步骤d，在步骤c之前，选择电阻部的电阻值；和步骤e，在步骤d与步骤c之间，将电阻部的电阻值设定为步骤d中所选择的电阻值。根据本发明，能够抑制异常放电的产生且调节电压下降时间。
本发明授权除电方法和等离子体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种除电方法，其在用处理等离子体来对被吸附在静电吸盘上的基片进行处理之后，对所述静电吸盘和所述基片进行除电，其中，所述基片是通过对内置于所述静电吸盘中的吸附电极施加吸附电压而被吸附在静电吸盘上的，所述除电方法的特征在于，包括： 步骤a，在所述处理之后，不停止在进行所述处理时施加到所述吸附电极的所述吸附电压，并生成除电等离子体； 步骤b，在所述步骤a之后，使施加到所述吸附电极的所述吸附电压停止； 步骤c，在所述步骤b之后，将所述吸附电极与经由电阻部而接地的接地线路连接，其中，所述电阻部能够将电阻值至少设定为第1电阻值和比该第1电阻值小的第2电阻值中的任一者； 步骤d，在所述步骤c之前，选择所述电阻部的电阻值；和 步骤e，在所述步骤d与所述步骤c之间，将所述电阻部的电阻值设定为所述步骤d中所选择的所述电阻值。
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