北京北方华创微电子装备有限公司陈海祥获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置及晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111445138.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置及晶圆清洗设备是由陈海祥;张明;南建辉;杨斌设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置及晶圆清洗设备，用以解决现有技术中控制清洗液温度时温度控制不够灵活、精确，且容易因清洗液的加热温度过高而导致防护外壳受热形变的问题。该装置包括：制冷片模组、控制模块和第一测温器件；制冷片模组设置在清洗槽的外壁上，通过控制模块基于清洗槽内清洗液的当前温度和目标温度，灵活地控制制冷片模组，从而实现升温加热和降温冷却功能的灵活切换，进而灵活地控制清洗液的温度，并且由于制冷片模组中的半导体制冷片处于工作状态时，第一片体与第二片体之间会产生一定温差，能够避免因清洗液的加热温度过高而导致清洗槽的防护外壳受热变形，起到对防护外壳进行降温保护的效果。
本发明授权晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备中清洗液温度的控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：制冷片模组、控制模块和第一测温器件；其中， 多个所述制冷片模组贴设在所述晶圆清洗设备的清洗槽的外壁上，每个所述制冷片模组均包括至少两个依次导热连接的半导体制冷片，每个所述半导体制冷片均包括第一片体和第二片体；所述第一片体与所述第二片体分别与所述控制模块连接，各所述半导体制冷片中的所述第一片体和所述第二片体串联后并联在各自的所述控制模块中； 所述第一测温器件，用于测量清洗槽内的清洗液的当前温度，并将所述当前温度传输至所述控制模块； 所述控制模块，用于根据所述当前温度和所述清洗液的目标温度，控制施加至所述半导体制冷片中的所述第一片体的第一极性、施加至所述半导体制冷片中的所述第二片体的第二极性、以及在所述第一片体与所述第二片体之间所施加的功率大小。
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