北京华卓精科科技股份有限公司李杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114203538B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111407078.1，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备是由李杰;王建;袁果;郭浩设计研发完成，并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备，涉及半导体技术领域。该冷却出气组件用于对激光退火设备中工艺腔室的密封盖进行冷却，包括匀流腔室，匀流腔室内围成匀流腔体，匀流腔体沿第一方向包括进气区、匀流区和出气区，匀流腔室与进气区相应的腔壁设有进气孔，匀流腔室与出气区相应的腔壁设有多个出气孔。该冷却装置包括上述冷却出气组件；该激光退火设备包括上述冷却装置。该冷却出气组件中匀流腔室的设置，能够使冷却气体均匀地从多个出气孔喷出，从而对密封盖的相应区域保持一致性较高的冷却效果，进而减少密封盖热变形甚至破裂对激光退火造成的不良影响，相应确保激光退火精度及退火效果。
本发明授权冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却出气组件，用于对激光退火设备中工艺腔室20的密封盖22进行冷却，其特征在于，包括匀流腔室100，所述匀流腔室100包括盖板120、底板130和侧围板140，所述侧围板140围设于所述盖板120与所述底板130之间，所述盖板120、底板130和侧围板140内围成匀流腔体110，所述匀流腔体110沿第一方向包括进气区111、匀流区112和出气区113； 沿所述第一方向，所述侧围板140背离所述进气区111的围板段为条形板141，所述条形板141设有多个出气孔142，多个所述出气孔142沿所述条形板141的长度方向均匀间隔排布，且所述出气孔142的流向与所述第一方向的朝向一致；所述盖板120背离所述条形板141的边缘区域设有进气孔121，且所述进气区111、所述匀流区112和所述出气区113的流通面积均大于所述进气孔121的流通面积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号