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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利源瓶组件及其温度控制方法、半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156204B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111394083.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权源瓶组件及其温度控制方法、半导体工艺设备是由王环宇设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本源瓶组件及其温度控制方法、半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种源瓶组件及其温度控制方法、半导体工艺设备，源瓶组件包括第一阀门组、第二阀门组、第一加热器、第二加热器和温度控制组件；第一阀门组位于第二阀门组和第一加热器之间，第一加热器用于对第一阀门组和第二阀门组加热，第二加热器靠近第二阀门组设置，第二加热器用于对第二阀门组加热；第一阀门组设置有第一温度检测件，第一温度检测件用于检测第一阀门组的温度，第二阀门组设置有第二温度检测件，第二温度检测件用于检测第二阀门组的温度；第一温度检测件和第二温度检测件均与温度控制组件电连接，温度控制组件与第二加热器控制相连。上述方案能够解决源瓶组件的阀门的加热均匀性较差问题。

本发明授权源瓶组件及其温度控制方法、半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种源瓶组件，用于半导体工艺设备中，其特征在于，所述源瓶组件包括第一阀门组（110）、第二阀门组（120）、第一加热器（130）、第二加热器（140）和温度控制组件（150）； 所述第一阀门组（110）位于所述第二阀门组（120）和所述第一加热器（130）之间，所述第一加热器（130）用于对所述第一阀门组（110）和所述第二阀门组（120）加热，所述第二加热器（140）靠近所述第二阀门组（120）设置，所述第二加热器（140）用于对所述第二阀门组（120）加热； 所述第一阀门组（110）设置有第一温度检测件（160），所述第一温度检测件（160）用于检测所述第一阀门组（110）的温度，所述第二阀门组（120）设置有第二温度检测件（170），所述第二温度检测件（170）用于检测所述第二阀门组（120）的温度； 所述第一温度检测件（160）和所述第二温度检测件（170）均与所述温度控制组件（150）电连接，所述温度控制组件（150）与所述第二加热器（140）控制相连，所述温度控制组件（150）用于接收所述第一温度检测件（160）和所述第二温度检测件（170）所检测的温度；所述温度控制组件（150）包括第一温度比较器（151），所述温度控制组件（150）用于对所述第一温度比较器（151）对所述第一温度检测件（160）和所述第二温度检测件（170）所检测的温度进行比较以获得温度差，根据所述温度差，控制所述第二加热器（140）对所述第二阀门组（120）加热。

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