北京北方华创微电子装备有限公司马建强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其漏液检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111386922.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备及其漏液检测装置是由马建强设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其漏液检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体工艺设备及其漏液检测装置，其中，漏液检测装置包括：接液部，用于承接漏液，接液部具有排液口；排液控制部，与排液口相配合，排液控制部能够封闭排液口以使接液部处于漏液容纳状态，并且能够开启排液口以使接液部处于漏液排放状态；第一漏液检测部，与接液部相配合，用于在接液部处于漏液容纳状态下检测累积的漏液的漏液量是否达到预设阈值；控制器，与排液控制部和第一漏液检测部通讯连接，当第一漏液检测部检测到漏液量达到预设阈值后，控制器能够通过排液控制部将接液部切换至漏液排放状态，以对累积的漏液进行排放，即实现漏液的自动控制排放，从而有效地避免接液部中漏液过多发生外溢的情况，进而消除了安全隐患。
本发明授权半导体工艺设备及其漏液检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的漏液检测装置，其特征在于，包括： 接液部，用于承接漏液，所述接液部具有排液口； 排液控制部，与所述排液口相配合，所述排液控制部能够封闭所述排液口以使所述接液部处于漏液容纳状态，并且能够开启所述排液口以使所述接液部处于漏液排放状态； 第一漏液检测部，与所述接液部相配合，用于在所述接液部处于漏液容纳状态下检测累积的漏液的漏液量是否达到预设阈值；所述第一漏液检测部设置在所述接液部的上表面且沿所述接液部的周向延伸至少一周，所述第一漏液检测部围绕形成漏液容纳区域，所述排液口位于所述漏液容纳区域内； 控制器，与所述排液控制部和所述第一漏液检测部通讯连接，当所述第一漏液检测部检测到所述漏液量达到所述预设阈值后，所述控制器能够通过所述排液控制部将所述接液部切换至漏液排放状态，以对累积的漏液进行排放； 第二漏液检测部，所述第二漏液检测部设置在所述漏液容纳区域内且靠近所述排液口。
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