细美事有限公司金永国获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置和阻抗匹配方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114512390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111369779.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置和阻抗匹配方法是由金永国;赵台勋;朴君昊;具滋明设计研发完成，并于2021-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和阻抗匹配方法在说明书摘要公布了：公开了一种用于处理基板的装置。该装置包括：RF电源；处理腔室，其利用从RF电源施加的功率执行等离子体处理；和阻抗匹配单元，其设置在RF电源和处理腔室之间并执行匹配，其中，RF电源包括测量在处理腔室和阻抗匹配单元的方向上的阻抗的第一传感器，并且阻抗匹配单元通过反映在RF电源中经由第一传感器测量的阻抗来执行阻抗匹配。
本发明授权基板处理装置和阻抗匹配方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： RF电源； 处理腔室，所述处理腔室通过使用从所述RF电源施加的功率而执行等离子体处理； 阻抗匹配单元，所述阻抗匹配单元设置在所述RF电源和所述处理腔室之间并执行匹配， 其中，所述RF电源包括测量在所述处理腔室和所述阻抗匹配单元的方向上的第一阻抗ZT的第一传感器，并且 所述阻抗匹配单元通过反映在所述RF电源中经由所述第一传感器测量的所述第一阻抗ZT来执行阻抗匹配， 其中，所述阻抗匹配单元包括用于测量在所述处理腔室的方向上的第二阻抗的第二传感器，并且 其中，所述阻抗匹配单元通过进一步反映所述第二阻抗来执行阻抗匹配；以及 将所述RF电源和所述阻抗匹配单元彼此连接的线缆， 其中，所述阻抗匹配单元被配置为： 通过使用由所述第二传感器测量的所述第二阻抗来执行一次阻抗匹配，使得所述阻抗匹配单元具有第一匹配阻抗ZM； 根据所述第一匹配阻抗ZM与由所述第一传感器测量的所述第一阻抗ZT之间的差值计算所述线缆的阻抗； 基于计算出的所述线缆的阻抗执行二次阻抗匹配，使得所述阻抗匹配单元的所述第一匹配阻抗调整为第二匹配阻抗。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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