上海微电子装备(集团)股份有限公司鲁阳获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利自动缺陷分类系统及其训练和分类的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116091379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111273131.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权自动缺陷分类系统及其训练和分类的方法是由鲁阳;刘涛;周许超;张记晨;潘成安;易兵;王敬贤;邓帅飞设计研发完成,并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动缺陷分类系统及其训练和分类的方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种自动缺陷分类系统及其训练和分类的方法。其中,自动缺陷分类系统中的过漏检判定单元用于判断数据是否属于过检数据或漏检数据,以将过漏检数据分离出来。过漏检原因分类器是由过漏检数据集,提取第一特征后训练而成,用于对过漏检数据进行过漏检原因分类,有利于在在线检测过程中,快速定位产生过漏检的原因,降低过漏检的概率。补充分类器独立于自动缺陷分类器,且至少采用属于缺陷分类系统原因的数据作为样本训练而成,降低了因自动缺陷分类器本身原因而导致数据分类不正确的问题。且不干涉自动缺陷分类器的正常作业,提高了检测物缺陷分类的精准度、检测设备的检测精度以及机台的稳定性。
本发明授权自动缺陷分类系统及其训练和分类的方法在权利要求书中公布了:1.一种自动缺陷分类系统的训练方法,其特征在于,包括: 根据预先获得的缺陷分类数据库,收录过检数据和漏检数据,以形成过漏检数据集; 对所述过漏检数据集中的数据进行过漏检原因标注;其中,所述过漏检原因至少包括检测系统原因和缺陷分类系统原因; 对所述数据进行第一特征提取,以训练形成过漏检原因分类器,所述过漏检原因分类器用于在检测过程中对数据进行过漏检原因分类; 至少以属于缺陷分类系统原因的所述数据为样本,对所述样本进行缺陷类别标注; 提取已标注缺陷类别的所述样本中的第二特征,以训练形成补充分类器,所述补充分类器用于对检测过程中经所述过漏检原因分类器分为缺陷分类系统原因的所述数据进行重新分类。
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