安平丹斯有限责任公司P·斯卡林获国家专利权
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龙图腾网获悉安平丹斯有限责任公司申请的专利等离子体处理的离子能量分析装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114167482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111298787.0，技术领域涉及：G01T1/36；该发明授权等离子体处理的离子能量分析装置是由P·斯卡林;J·道尔;J·列侬;D·加恩;T·波格斯扬设计研发完成，并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理的离子能量分析装置在说明书摘要公布了：一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布IED测量值的装置，该装置包括用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的基板、布置在基板中用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布的离子能量分析仪，分析仪包括第一导电栅极G0、第二导电栅极G1、第三导电栅极G2、第四导电栅极G3和集电极C，每个栅极由集成在基板中的绝缘层、电池电源和控制电路隔开，用于向离子能量分析仪的每个栅极和集电极提供和控制电压；其中，至少一个绝缘层包括相对于绝缘层的剩余部分厚度减小的外围部分。
本发明授权等离子体处理的离子能量分析装置在权利要求书中公布了：1.一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布IED测量值的装置，包括： 基板，其放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体； 离子能量分析仪，其设置在基板中，用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布，分析仪包括第一导电栅极G0、第二导电栅极G1、第三导电栅极G2、第四导电栅极G3和集电极C，每个栅极由绝缘层隔开； 电池电源和电池管理器，其集成在基板中，用于向离子能量分析仪的每个栅极和集电极提供电压和控制电压；以及 基板内的高压发生电路，所述高压发生电路包括向电压倍增器馈电的低压到高压的变压器，其中，高压发生电路获取电池管理器的输出电压，并向第三导电栅极提供电压扫描。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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