北京北方华创微电子装备有限公司吴洁获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种物料调度方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871330B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111002708.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种物料调度方法和一种半导体工艺设备是由吴洁设计研发完成，并于2021-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物料调度方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种物料调度方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：确定当前作业任务的物料传输路径信息；所述物料传输路径信息用于限定物料所需经过的设备结构和经过所述设备结构的顺序；分别确定所述各个设备结构的存放空间特征信息和物料存放状态信息；根据所述物料传输路径信息、所述存放空间特征信息和所述物料存放状态信息，生成当前作业任务的物料调度全局动作序列；所述物料调度全局动作序列包括所述各个设备结构所需执行的物料调度动作；控制所述各个设备结构按照所述物料调度全局动作序列进行物料调度。采用上述方法，可根据设备硬件结构特性，实现一次性输出物料调度的全局最优调度动作序列，能够大大提高机台加工物料的产能。
本发明授权一种物料调度方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种物料调度方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括多个用于分别进行物料操作的设备结构，所述方法包括： 确定当前作业任务的物料传输路径信息；所述物料传输路径信息用于限定物料所需经过的设备结构和经过所述设备结构的顺序； 分别确定各个所述设备结构的存放空间特征信息和物料存放状态信息； 根据所述物料传输路径信息、所述存放空间特征信息和所述物料存放状态信息，生成当前作业任务的物料调度全局动作序列；所述物料调度全局动作序列包括各个所述设备结构所需执行的物料调度动作； 控制各个所述设备结构按照所述物料调度全局动作序列进行物料调度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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