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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺控制方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115705034B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110928753.9，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权半导体工艺控制方法及装置是由任志豪;杨浩;王馨梦;曹凯悦;申震设计研发完成，并于2021-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺控制方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体工艺控制方法及装置，该方法包括：响应于上位机设备发送的针对半导体工艺的工艺运行命令以及分配的第一功率资源，控制下位机设备对应的当前工艺设备执行半导体工艺；确定当前工艺设备在执行半导体工艺过程中的实时输出功率，若实时输出功率大于第一功率资源，则对实时输出功率进行功率限制操作，以及向上位机设备发送功率分配请求；接收上位机设备分配的第二功率资源，在第二功率资源大于或等于实时输出功率时，停止对实时输出功率进行功率限制操作，否则，继续对实时输出功率进行功率限制操作，并返回向上位机设备发送功率分配请求的步骤。本申请能够确保工艺设备的输出功率不超出厂房负荷同时兼顾工艺结果准确性。

本发明授权半导体工艺控制方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺控制方法，应用于下位机设备，其特征在于，包括： 响应于上位机设备发送的针对半导体工艺的工艺运行命令，以及针对所述半导体工艺分配的第一功率资源，控制所述下位机设备对应的当前工艺设备执行所述半导体工艺，所述第一功率资源为所述上位机设备为所述当前工艺设备分配的；所述工艺运行命令由所述上位机设备在确定所述当前工艺设备满足工艺运行条件时发送； 确定所述当前工艺设备在执行所述半导体工艺过程中的实时输出功率，判断所述实时输出功率是否大于所述第一功率资源； 若是，则对所述实时输出功率进行功率限制操作，以及向所述上位机设备发送功率分配请求； 接收所述上位机设备分配的第二功率资源，在所述第二功率资源大于或等于所述实时输出功率时，停止对所述实时输出功率进行所述功率限制操作，在所述第二功率资源小于所述实时输出功率时，继续对所述实时输出功率进行所述功率限制操作，并返回所述向所述上位机设备发送功率分配请求的步骤；所述第二功率资源由所述上位机设备基于所述功率分配请求向所述下位机设备分配。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。