上海微电子装备(集团)股份有限公司黄元昊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利激光退火装置及激光退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527883B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110712573.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权激光退火装置及激光退火方法是由黄元昊设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火装置及激光退火方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光退火装置及一种激光退火方法。所述激光退火装置中，第一和第二激光单元分别提供周期相同的脉冲激光和调制波形激光，在单个周期内，调制波形激光的能量密度随时间变化且脉冲激光持续的时间小于调制波形激光持续的时间；光学单元将所述脉冲激光和所述调制波形激光至少部分重叠的投影在工件上，以对工件进行激光退火。该激光退火装置利用脉冲激光和调制波形激光相互配合以对工件进行退火，可以提高工件中杂质离子的激活率，并可以控制工件非退火面的温度。所述激光退火方法利用脉冲激光和调制波形激光相互配合以对工件进行退火。
本发明授权激光退火装置及激光退火方法在权利要求书中公布了：1.一种激光退火装置，其特征在于，激光退火装置包括： 第一激光单元，用于提供脉冲激光； 第二激光单元，用于提供调制波形激光；以及 光学单元，用于将所述脉冲激光和所述调制波形激光至少部分重叠的投影在工件上； 其中，所述脉冲激光和所述调制波形激光的重复周期相同；在单个周期内，所述调制波形激光的能量密度随时间变化，所述脉冲激光持续的时间小于所述调制波形激光持续的时间，所述调制波形激光的波形宽度为所述脉冲激光脉宽的50倍以上；所述脉冲激光和所述调制波形激光相互配合以对所述工件进行退火。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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