佳能株式会社铃木健士获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利保持装置、光刻装置以及物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113759667B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110611760.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权保持装置、光刻装置以及物品制造方法是由铃木健士设计研发完成，并于2021-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本保持装置、光刻装置以及物品制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供保持装置、光刻装置以及物品制造方法。保持装置保持物体，其特征在于，保持装置具有：吸附部，用于真空吸附物体；多个生成部，分别与连接于吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由多个第1管路向吸附部供给的真空空气；泵，经由分别与多个生成部连接的多个第2管路向多个生成部供给压缩空气；第3管路，包括分别与多个第2管路连接的多个连接管路和汇集多个连接管路的汇集管路；控制阀，设置于汇集管路，通过开闭汇集管路而经由多个连接管路控制多个第2管路的大气释放；以及多个止回阀，分别设置于多个连接管路，抑制存在于多个第2管路之中的一个管路的压缩空气经由第3管路流入多个第2管路之中的其他管路。
本发明授权保持装置、光刻装置以及物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于， 上述保持装置具有： 吸附部，该吸附部用于真空吸附上述物体； 多个生成部，该多个生成部分别与连接于上述吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由上述多个第1管路向上述吸附部供给的减压气体； 泵，该泵经由分别与上述多个生成部连接的多个第2管路向上述多个生成部供给压缩空气； 第3管路，该第3管路包括分别与上述多个第2管路连接的多个连接管路和汇集上述多个连接管路的汇集管路； 控制阀，该控制阀设于上述汇集管路，控制上述汇集管路的开闭；以及 多个止回阀，该多个止回阀分别设于上述多个连接管路，抑制存在于上述多个第2管路之中的一个管路的上述压缩空气经由上述第3管路流入上述多个第2管路之中的其他管路。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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