深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种承载装置及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112992768B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110336355.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种承载装置及检测设备是由陈鲁;张龙;黄有为;张嵩设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载装置及检测设备在说明书摘要公布了：一种承载装置及检测设备，承载装置包括基板件、支撑件和承载件；基板件设有用于供承载件运动通过的定位通孔；支撑件与基板件运动连接，用于在向靠近定位通孔的方向运动时，将待载工件支撑在定位通孔的上方；承载件用于经由定位通孔靠近待载工件，实现对待载工件的承载固定，从而带动待载工件相对于支撑件和或基板件运动。由于承载件可以相对于支撑件和或基板件进行独立运动，利用支撑件将待载工件约束在承载件运动轨迹上，即可在承载件经过时完成对待载工件的承载固定及载送；无需在承载件上设置任何用于取放待载工件的结构部件或机构，既可降低承载件自身的负重，又可通过对承载件的结构改进优化，为提升其承载性能创造条件。
本发明授权一种承载装置及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，其特征在于，包括基板件、支撑件和承载件，其中： 所述基板件设有定位通孔，所述定位通孔用于供承载件沿轴向方向运动通过基板件； 所述支撑件至少三个且围绕承载件的中心线布置在基板件上；所述支撑件与基板件运动连接，以沿径向方向靠近或远离所述定位通孔运动；当所述支撑件可控地向靠近所述定位通孔的方向运动并抵靠待载工件时，使待载工件的中心与所述承载件的中心线重合，并将待载工件支撑在所述定位通孔的上方； 所述承载件用于经由定位通孔靠近或远离被支撑件支撑在定位通孔上方的待载工件，以在靠近待载工件时吸附待载工件，实现对待载工件的承载固定，从而带动待载工件相对于所述支撑件和或基板件运动。
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