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ASM IP私人控股有限公司黄剑秋获国家专利权

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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113069999B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011578034.0,技术领域涉及:B01J4/00;该发明授权气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统是由黄剑秋;赵格剑;K.丰杜鲁利亚设计研发完成,并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统在说明书摘要公布了:本发明公开了气体供应组件和包括气体供应组件的反应器系统。一种示例性气体供应组件包括:容器、阀板、包封容器和阀板的壳体、具有在壳体内部的第一端和在壳体外部的第二端的气体馈通件、以及附接到阀板的一个或多个阀,其中至少一个阀流体地联接到容器的内部。该组件可进一步包括可移除气体管线,可移除气体管线具有联接到至少一个阀的第一端和联接到气体馈通件的第二端。附加地或备选地,气体供应组件可包括联接到阀板的一个或多个阀板平整装置。

本发明授权气体供应组件、其部件和包括其的反应器系统在权利要求书中公布了:1.一种气体供应组件,包括: 容器; 阀板; 联接到阀板的阀板平整装置; 壳体,所述壳体包封所述容器和所述阀板; 气体馈通件,所述气体馈通件具有在所述壳体内部的第一端和在所述壳体外部的第二端; 附接到所述阀板的一个或多个阀,其中至少一个阀流体地联接到所述容器的内部;以及 可移除气体管线,所述可移除气体管线包括: 利用第一密封件连接到至少一个阀的第一端; 利用第二密封件直接连接到气体馈通件的第二端; 连接到可移除气体管线的所述第一端的第一导管;以及 连接在第一导管和可移除气体管线的所述第二端之间的第二导管, 其中,所述第二导管与第一导管垂直; 其中,所述阀板平整装置包括固定销和托架,所述托架附接到阀板,且所述固定销由支承凸缘螺纹地接收,所述支承凸缘联接到壳体;且 其中,所述固定销的端部抵靠在托架上以调节所述阀板的平整。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人ASM IP私人控股有限公司,其通讯地址为:荷兰阿尔梅勒;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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