新光电气工业株式会社山本研吾获国家专利权
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龙图腾网获悉新光电气工业株式会社申请的专利柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112928087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011243111.7,技术领域涉及:H01L23/488;该发明授权柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置是由山本研吾;伊藤大介;大久保光晃;内田健二设计研发完成,并于2020-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置。柱状铜凸点形成在半导体芯片的电极垫上,并具有:第1铜层;第1金属层,形成在所述第1铜层的正上方;第2铜层,形成在所述第1金属层的正上方;及第2金属层,形成在所述第2铜层的正上方。其中,所述第1金属层和所述第2金属层由蚀刻速率与铜不同的金属形成,所述第1金属层的外周侧在所述第1铜层的侧面的外侧呈环状凸起,所述第2金属层的外周侧在所述第2铜层的侧面的外侧呈环状凸起。
本发明授权柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置在权利要求书中公布了:1.一种柱状铜凸点,形成在半导体芯片的电极垫上,并具有: 第1铜层; 第1金属层,形成在所述第1铜层的正上方; 第2铜层,形成在所述第1金属层的正上方;及 第2金属层,形成在所述第2铜层的正上方, 其中, 所述第1金属层和所述第2金属层由相同的材料构成,该材料包括蚀刻速率小于铜的金属, 所述第1金属层的外周侧在所述第1铜层的侧面的外侧呈环状凸起, 所述第2金属层的外周侧在所述第2铜层的侧面的外侧呈环状凸起, 所述第1金属层和所述第2金属层的材料为Ni、Cr、Ti、Ta、Co、Au、Ag、Pt及Pd中的任意一种。
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