广东先导先进材料股份有限公司吕新杨获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导先进材料股份有限公司申请的专利掺杂碳源以及垂直舟装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112002633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010953038.6，技术领域涉及：H01L21/22；该发明授权掺杂碳源以及垂直舟装置是由吕新杨;易明辉;周铁军设计研发完成，并于2020-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本掺杂碳源以及垂直舟装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种掺杂碳源和垂直舟装置。掺杂碳源为内外径均沿轴向上大下小的母空心锥台；母空心锥台包括沿轴向能够堆叠的多个子空心锥台，各子空心锥台的内外径均形成为沿轴向上大下小，母空心锥台配置成：在首次使用时，多个子空心锥台沿轴向堆叠在一起使用，在重复使用时可选地去掉沿轴向位于最外端的一个子空心锥台。垂直舟装置包括石英管、石英中圈、前段PBN坩埚、后段PBN坩埚以及掺杂碳源；石英管包括第一空心锥台段；石英中圈包括第二空心锥台段；前段PBN坩埚包括第三空心锥台段；后段PBN坩埚包括第四空心锥台段；掺杂碳源用于沿径向夹在第三空心锥台段与第一空心锥台段之间和或掺杂碳源用于沿径向夹在第四空心锥台段与第二空心锥台段之间。
本发明授权掺杂碳源以及垂直舟装置在权利要求书中公布了：1.一种掺杂碳源5，用于在半绝缘砷化镓晶体生长中掺入碳，其特征在于， 掺杂碳源5为内径和外径均沿轴向上大下小的母空心锥台51； 母空心锥台51包括彼此独立的物理可拆装的沿轴向能够堆叠的多个子空心锥台511，各子空心锥台511的内径和外径均形成为沿轴向上大下小， 母空心锥台51配置成：在首次使用时，多个子空心锥台511沿轴向堆叠在一起使用以均提供掺杂碳源，在重复使用时去掉沿轴向位于最外端的一个子空心锥台511来使用。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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