应用材料公司J·M·舒浩勒获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于同时的基板传送的机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114097071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080050588.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于同时的基板传送的机器人是由J·M·舒浩勒;L·布恩卡特;C·T·卡尔森;R·塔努;K·穆图卡马奇;J·胡金斯;B·莱尔顿设计研发完成，并于2020-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于同时的基板传送的机器人在说明书摘要公布了：示例性基板处理系统可包括传送区域壳体，所述传送区域壳体界定与多个处理区域流体耦接的传送区域。传送区域壳体的侧壁可界定用于提供和接收基板的可密封存取。系统可包括多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在传送区域内。系统可还包括具有中央毂的传送设备，中央毂包括第一轴和可与第一轴反向旋转的第二轴。传送设备可包括偏心毂，偏心毂至少部分地延伸穿过中央毂，并且偏心毂从中央毂的中心轴径向地偏移。传送设备可还包括与偏心毂耦接的终端受动器。终端受动器可包括多个臂，多个臂具有的臂数量等于多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。
本发明授权用于同时的基板传送的机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包括： 传送区域壳体，所述传送区域壳体界定与多个处理区域流体耦接的传送区域，其中所述传送区域壳体的侧壁界定用于提供和接收基板的能密封存取； 多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在所述传送区域内；和 传送设备，所述传送设备包括： 中央毂，所述中央毂包括第一轴和第二轴，所述第二轴绕所述第一轴延伸并且与所述第一轴同心，其中所述第二轴能与所述第一轴反向旋转，并且 其中所述中央毂以中心轴为特征，其中所述多个基板支撑件中的每一个在相对于所述中央毂的固定水平位置， 偏心毂，所述偏心毂至少部分地延伸穿过所述中央毂，其中所述偏心毂从所述中央毂的所述中心轴径向偏移，并且其中所述偏心毂与所述中央毂的所述第一轴耦接，以及 终端受动器，所述终端受动器与所述偏心毂耦接，所述终端受动器包括多个臂，所述多个臂具有臂的数量，所述臂的数量等于所述多个基板支撑件的基板支撑件的数量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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