朗姆研究公司巴斯卡尔·班达拉普获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利防止高深宽比结构的黏滞和/或修补高深宽比结构的蒸气输送头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112602186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980055386.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权防止高深宽比结构的黏滞和/或修补高深宽比结构的蒸气输送头是由巴斯卡尔·班达拉普;戴维·穆;卡尔-海因茨·霍恩沃特;布奇·伯尼;南森·拉夫多夫斯基;克里斯蒂安·普兹;司洪波;罗伯特·约翰逊;迈克尔·克莱姆;伯恩哈德·洛伊德尔设计研发完成，并于2019-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止高深宽比结构的黏滞和/或修补高深宽比结构的蒸气输送头在说明书摘要公布了：一种用于衬底的湿式处理的蒸气输送头包括主体，该主体包括上表面、下表面、上充气室和下充气室。第一孔布置在所述主体的所述上表面上，并且与所述上充气室流体连接，以供应经加热的流体。第二孔布置在所述主体的所述上表面上，并且连接至所述上充气室，以移除经加热的流体。第三孔布置在所述主体的所述上表面上，且连接至所述下充气室，以接收气体混合物。穿过所述主体的所述下表面的多个通孔与所述下充气室流体连通。
本发明授权防止高深宽比结构的黏滞和/或修补高深宽比结构的蒸气输送头在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底的湿式处理的蒸气输送头，其包括： 主体，其包括上表面、下表面、上充气室和下充气室； 第一孔，其布置在所述主体的所述上表面上，并且与所述上充气室流体连接，以供应经加热的流体； 第二孔，其布置在所述主体的所述上表面上，并且连接至所述上充气室，以移除经加热的流体； 第三孔，其布置在所述主体的所述上表面上，且连接至所述下充气室，以接收气体混合物； 多个通孔，其穿过所述主体的所述下表面，并且与所述下充气室流体连通；以及 档板，所述档板布置在所述第三孔与所述下充气室之间在所述下充气室内，其中所述档板包括多个挡板部，以将所述气体混合物分布在所述下充气室中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：奥地利菲拉赫；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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