安徽矽美新材料有限公司郑小勇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽矽美新材料有限公司申请的专利气体分布器及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119932532B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411938988.6,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权气体分布器及其应用是由郑小勇;林仲珉;胡斌;卢群设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分布器及其应用在说明书摘要公布了:本发明提供了气体分布器及其应用,本申请的气体分布器,包括分布器主体,所述分布器主体具有一内凹的曲面,所述曲面的中心设置有气流开口二,所述气流开口二的外侧设置有气流开口一,所述气流开口二以分布器主体的径向布置,所述气流开口一与曲面呈切角式布置;所述曲面中设置有可旋转的桨叶,所述桨叶与曲面之间具有间隙。本申请的气体分布器可以帮助直立式化学气相沉积反应器以化学气相沉积CVD方式,来处理粒径为50纳米至30微米的多微孔的碳支架颗粒,或其它类似的碳或非碳材料的微颗粒,在这类微颗粒的表面和微孔内表面沉积硅或其它单质或陶瓷或金属或非金属材料;这类含多微孔的支架颗粒的微孔内径可以小于2纳米。
本发明授权气体分布器及其应用在权利要求书中公布了:1.气体分布器,其特征在于,包括分布器主体,所述分布器主体具有一内凹的曲面,所述曲面的中心设置有气流开口二,所述气流开口二的外侧设置有气流开口一,所述气流开口二以分布器主体的径向布置,所述气流开口一与曲面呈切角式布置; 所述曲面中设置有可旋转的桨叶,所述桨叶与曲面之间具有间隙; 在参考面一上所述气流开口一的开口方向位于经过该气流开口一的切线方向和径向之间,所述参考面一与分布器主体的轴向垂直; 在参考面二上所述气流开口一的开口方向位于经过该气流开口一的切线方向和轴向之间,所述参考面二平行于分布器主体的轴向、气流开口一的开口方向。
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