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北京光舟科技有限公司易荣获国家专利权

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龙图腾网获悉北京光舟科技有限公司申请的专利一种KrF光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119591759B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411894298.5,技术领域涉及:C08F112/14;该发明授权一种KrF光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用是由易荣;李政;邓明帅设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种KrF光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻胶成膜树脂制备技术领域,且公开了一种KrF光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用,制备方法包括步骤:将4‑乙酰氧基苯乙烯单体或者4‑乙酰氧基苯乙烯单体和其它共聚单体过滤后,加入到分散剂中,并加入有机光催化剂和链转移剂混合,得到混合溶液;在混合溶液中通入惰性气体,在可见光条件下对所述混合溶液进行照射,反应得到聚合液;将聚合液析出,烘干,然后加入氨水或者水合肼溶液,反应结束后得到分子量分布<1.2的KrF光刻胶成膜树脂。本发明采用光引发的方式,一方面可以降低聚合过程中的能耗,反应条件温和;另一方面可以对聚合物制备过程进行很好的时间和空间的控制,保证批间稳定性。

本发明授权一种KrF光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种KrF光刻胶成膜树脂的制备方法,其特征在于,包括步骤: 将4-乙酰氧基苯乙烯单体或者4-乙酰氧基苯乙烯单体和其它共聚单体经中性氧化铝颗粒过滤,然后加入到分散剂中,并加入有机光催化剂和链转移剂混合,得到混合溶液,所述有机光催化剂由伊红和1,3-丙二硫醇组成; 对混合溶液进行抽真空并在混合溶液中通入惰性气体以去除混合溶液中的氧气,在4-40mWcm2的可见光条件下对所述混合溶液进行照射,并在25-60℃条件下反应10-72h,得到聚合液; 将所述聚合液滴入到不良溶剂中析出,烘干,然后分散在有机溶剂中,加入氨水或者水合肼溶液继续搅拌3-24h,反应结束后将得到的聚合物沉淀析出洗涤并烘干,得到分子量分布<1.2且分子量为3000-100000的KrF光刻胶成膜树脂。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京光舟科技有限公司,其通讯地址为:100089 北京市海淀区永腾北路9号院16号楼4层101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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