中航西安飞机工业集团股份有限公司王添获国家专利权
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龙图腾网获悉中航西安飞机工业集团股份有限公司申请的专利一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119738069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411857720.X,技术领域涉及:G01L1/18;该发明授权一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器及其制备方法是由王添;蔡瑞;郝精一;郭艺婷;董伟设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器及其制备方法,包括:采用固相法分别制备得到Sr3Al2O6靶材、La‑BaTiO3靶材;采用脉冲激光沉积技术,在SrTiO3单晶基底上利用Sr3Al2O6靶材和BaTiO3靶材,制备得到“La‑BaTiO3Sr3Al2O6SrTiO3”异质结构;采用水溶法,将聚二甲基硅氧烷PDMS膜静电吸附于“La‑BaTiO3Sr3Al2O6SrTiO3”异质结构上并将该结构中的La‑BaTiO3薄膜剥离,制备得到“La‑BaTiO3PDMS”异质结构;采用磁控溅射法在“La‑BaTiO3PDMS”异质结构上生长金Au电极,制备得到“AuPDMSLa‑BaTiO3”异质结构;将另一片PDMS膜依靠静电吸附贴于“AuPDMSLa‑BaTiO3”异质结构的Au电极表面进行封装,制得“PDMSAuLa‑BaTiO3PDMS”异质结构的压阻传感器。该制备方法过程可控性高,制备得到的柔性压阻传感器具有高精度、高灵敏、可靠性高的特点;柔性压阻传感器能够适应各种曲面和形状的变化,应用范围广。
本发明授权一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于氧化物褶皱结构的柔性传感器的制备方法,其特征在于,所述制备方法是按照下述步骤展开: 步骤1、采用固相法制备得到Sr3Al2O6陶瓷靶材; 步骤2、采用固相法制备得到La3+离子掺杂的BaTiO3陶瓷靶材,即为La-BaTiO3陶瓷靶材; 步骤3、采用脉冲激光沉积技术,在晶向为100取向的SrTiO3单晶基底上,根据所述Sr3Al2O6陶瓷靶材和所述La-BaTiO3陶瓷靶材,制备得到“La-BaTiO3Sr3Al2O6SrTiO3”异质结构; 步骤4、采用水溶法,将聚二甲基硅氧烷PDMS膜静电吸附于所述“La-BaTiO3Sr3Al2O6SrTiO3”异质结构上,并将所述“La-BaTiO3Sr3Al2O6SrTiO3”异质结构中的La-BaTiO3薄膜剥离出,并且制备得到具有褶皱结构的“La-BaTiO3PDMS”异质结构; 步骤5、采用磁控溅射法在所述具有褶皱结构的“La-BaTiO3PDMS”异质结构上生长金Au电极,制备得到“AuLa-BaTiO3PDMS”异质结构; 步骤6、将另一片PDMS膜依靠静电吸附贴于所述“AuLa-BaTiO3PDMS”异质结构的Au电极表面进行封装,制得“PDMSAuLa-BaTiO3PDMS”异质结构的压阻传感器。
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