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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119644676B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411825797.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置是由吴剑威;李一帆;晏祯卓;赵鹏越;高席丰设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，涉及半导体制造装备技术领域，抑制对外接口反作用力的步进式运动装置包括负载、Y向执行机构、X向执行机构、Y向反作用力平衡机构、X向反作用力平衡机构、支撑框架和大理石平台，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，支撑框架设置于大理石平台上，Y向反作用力平衡机构和X向反作用力平衡机构均设置于支撑框架上。本发明的抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，相比于现有技术，可以抑制步进式运动装置工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，保证步进式运动装置的运动及测量精度。

本发明授权一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置在权利要求书中公布了：1.一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，其特征在于，包括：负载（1）、Y向执行机构（2）、X向执行机构（3）、Y向反作用力平衡机构（4）、X向反作用力平衡机构（5）、支撑框架（6）和大理石平台（7），所述支撑框架（6）用于与基础框架的机械安装接口连接，所述负载（1）设置于所述Y向执行机构（2）上，所述Y向执行机构（2）设置于所述X向执行机构（3）上，所述X向执行机构（3）设置于所述支撑框架（6）上，所述支撑框架（6）设置于所述大理石平台（7）上，所述Y向反作用力平衡机构（4）和所述X向反作用力平衡机构（5）均设置于所述支撑框架（6）上，所述Y向反作用力平衡机构（4）包括第一驱动机构和Y向平衡质量块（44），所述第一驱动机构用于带动所述Y向平衡质量块（44）在所述支撑框架（6）上沿Y向移动，所述X向反作用力平衡机构（5）包括第二驱动机构和X向平衡质量块（54），所述第二驱动机构用于带动所述X向平衡质量块（54）在所述支撑框架（6）上沿X向移动；所述Y向反作用力平衡机构（4）还包括第三连接架（45）、第四连接架（46）、第三光栅尺（47）和第三读数头（48），所述Y向平衡质量块（44）上开设有贯穿于所述Y向平衡质量块（44）的第一长槽孔，所述第三连接架（45）的一端连接于所述支撑框架（6），另一端伸出所述第一长槽孔，所述第三读数头（48）设置于所述第三连接架（45）远离所述支撑框架（6）的一端，所述第四连接架（46）连接于所述Y向平衡质量块（44），所述第三光栅尺（47）设置于所述第四连接架（46）上，所述第三读数头（48）用于读取所述第三光栅尺（47）上的刻度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学，其通讯地址为：150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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