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南京宏泰晶智能装备科技有限公司于永澔获国家专利权

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龙图腾网获悉南京宏泰晶智能装备科技有限公司申请的专利一种用于半导体加工设备的智能化检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119738355B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411819568.6,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种用于半导体加工设备的智能化检测装置及方法是由于永澔;姚恒;李光设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体加工设备的智能化检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于半导体加工设备的智能化检测装置及方法,属于半导体检测技术领域,包含安设在配送单元一边的投送单元,配送单元包含2个凹状装配座,所述装配座的正面以及背面里壁间旋接着动力筒,2个所述动力筒上安设着运输皮带,2个所述装配座正面以及背面均安设着承托条,2个所述承托条上安设着检测架,所述检测架的顶部里壁安设着检测摄像头。本发明解决了在检测时都是放在生产线上配送,但是半导体件如何放在生产线上,一般都是手动把半导体件添加至生产线上配送到检测区域,这样一来不够高效,且劳动强度大的问题。

本发明授权一种用于半导体加工设备的智能化检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体加工设备的智能化检测装置,包含安设在配送单元一边的投送单元,配送单元包含2个凹状装配座,所述装配座的正面以及背面里壁间旋接着动力筒(1212),2个所述动力筒(1212)上安设着运输皮带(1211),2个所述装配座正面以及背面均安设着承托条(11),2个所述承托条(11)上安设着检测架(111),所述检测架(111)的顶部里壁安设着检测摄像头(112),处在左边的装配座的正面固联着马达一(1213),所述马达一(1213)的动力端和处在左边的动力筒(1212)的正面一头固联,其特征在于,投送单元包含装配片(12),所述装配片(12)的下面两边都固联着承托座,所述装配片(12)的上面固联着容纳盒(13),所述容纳盒(13)里容纳安放着若干半导体件,所述装配片(12)上安设着和容纳盒(13)彼此适配的送件单元,所述装配片(12)的左边安设着和容纳盒(13)彼此适配的添加单元; 所述送件单元包含预留在装配片(12)左边的方型口一(14),所述方型口一(14)的上面预留着敞开洞,所述方型口一(14)的右边里壁预留着方型口二(15),所述方型口二(15)的上面里壁与下面里壁间固联着直线驱动器一(16),所述直线驱动器一(16)的动力端伸展到方型口一(14)里且固联着直角牵引棒(18),所述直角牵引棒(18)的上面伸展到装配片(12)的上面,所述方型口二(15)的上面里壁与下面里壁间固联着电瓶(17),所述电瓶(17)和直线驱动器一(16)电联结,所述容纳盒(13)的左边里壁预留着透过口一(124),所述透过口一(124)里安设着驱使台(125),所述直角牵引棒(18)的右边伸展到透过口一(124)里且和驱使台(125)的左边固联,所述驱使台(125)的右边和容纳盒(13)的左边里壁处在一条直线,所述驱使台(125)右边和处在最低处的半导体件左边贴合,所述方型口一(14)的下面里壁固联着止位台(123),所述止位台(123)右边和直角牵引棒(18)左边位移贴合,所述直角牵引棒(18)左边里壁固联着约束棒(19),所述方型口一(14)右边里壁预留着方型口三(120),所述约束棒(19)右边一头伸展到方型口三(120)里,所述方型口三(120)的上面里壁与下面里壁间固联着按钮(121),所述容纳盒(13)右边里壁预留着卸货口(126),所述卸货口(126)的上面里壁固联着凹型台(127),所述凹型台(127)的正面里壁与背面里壁间旋转着引导筒(128),所述凹型台(127)的正面固联着马达二(129),所述马达二(129)和电瓶(17)相连,所述马达二(129)的动力端和引导筒(128)的正面一头固联,所述按钮(121)和马达二(129)相连,所述容纳盒(13)的右边里壁固联着呈夹角安设的引导片(1214),所述引导片(1214)和运输皮带(1211)彼此适配。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京宏泰晶智能装备科技有限公司,其通讯地址为:211599 江苏省南京市六合区六合经济开发区时代大道96号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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