季华实验室郑敬都获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种密封法兰及远程等离子腔体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223360166U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423059228.6，技术领域涉及：F16L23/00；该实用新型一种密封法兰及远程等离子腔体设备是由郑敬都;赵渝宁;黄星星;安丽;胡强设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种密封法兰及远程等离子腔体设备在说明书摘要公布了：本实用新型适用于半导体领域，公开了密封法兰及远程等离子腔体设备，远程等离子腔体设备包括远程等离子腔体装置、工艺腔和密封法兰，密封法兰公头和母头，公头包括同轴设置的内筒体和外筒体，内筒体安装在外筒体内，内筒体露出外筒体的一端套设有密封圈，外筒体的端面设置有磁性件，磁性件设置在内筒体的周侧，母头包括连接段和自连接段向外延伸的密封段，连接段的端面上设置有电磁铁和接线端子，电磁铁与磁性件配合设置，内筒体插接在连接段内，并延伸至密封段中，且内筒体与密封段之间设置有密封圈，内筒体远离密封段的一端安装在远程等离子腔体装置上，密封段安装在工艺腔上，该密封法兰能够快速装卸，并具备良好的密封性能。
本实用新型一种密封法兰及远程等离子腔体设备在权利要求书中公布了：1.一种密封法兰，其特征在于，包括公头和母头，公头包括同轴设置的内筒体和外筒体，所述内筒体安装在所述外筒体内，所述内筒体露出外筒体的一端套设有密封圈，所述外筒体的端面设置有磁性件，所述磁性件设置在所述内筒体的周侧，所述母头包括中空设置的连接段和自所述连接段向外延伸的密封段，所述连接段的端面上设置有电磁铁和与所述电磁铁电性连接的接线端子，所述电磁铁与所述磁性件配合设置，所述内筒体插接在所述连接段内，并延伸至所述密封段中，且所述内筒体与所述密封段之间设置有密封圈，所述内筒体远离所述密封段的一端用于与远程等离子腔体装置固定连接，所述密封段用于安装在工艺腔上。
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