东南大学王倩倩获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119553224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411786185.3，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜及其制备方法是由王倩倩;邹高鹏;沈宝龙设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜，其化学式为HfCxN1‑x；其中，x取值为0.09～0.1。本发明还公开了上述碳掺杂的氮化铪纳米晶膜的制备方法，采用磁控共溅射法，具体为：将纯铪靶和石墨靶放入腔室中，抽真空至4×10‑ 4Pa；向腔室内连续通入氮气和氩气，控制纯铪靶和石墨靶的溅射电流，在衬底上沉积HfCxN1‑x膜。本发明通过在HfN中引入C元素，制得了一种兼具极低红外发射率和优异耐久性的碳氮化铪纳米晶膜。
本发明授权一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳掺杂的氮化铪纳米晶膜，其特征在于：其化学式为HfCxN1-x；其中，x取值为0.09～0.1。
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