复拓科学仪器(苏州)有限公司陈小林获国家专利权
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龙图腾网获悉复拓科学仪器(苏州)有限公司申请的专利一种薄膜厚度光学测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223361383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422965565.5，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种薄膜厚度光学测量装置是由陈小林;陈凡;张俊飞设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜厚度光学测量装置在说明书摘要公布了：本申请属于薄膜测量技术领域，具体公开了一种薄膜厚度光学测量装置，该装置包括：波长可调谐光源、探测光路及光谱测量单元；所述波长可调谐光源的出光口位于所述探测光路的入光口侧；所述光谱测量单元的入光口位于所述探测光路的第一出光口侧，所述探测光路的第二出光口位于待测薄膜的表面的正对面；所述探测光路用于引导所述波长可调谐光源产生的入射光照射至所述待测薄膜的表面发生反射，并将反射光束引导至所述光谱测量单元中；所述光谱测量单元用于利用所述反射光束测量包含所述待测薄膜的面阵膜厚信息的反射光谱。通过本申请，可以在实现薄膜面阵膜厚测量的同时，提升薄膜面阵厚度测量的分辨率。
本实用新型一种薄膜厚度光学测量装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜厚度光学测量装置，其特征在于，包括： 波长可调谐光源、探测光路及光谱测量单元； 所述波长可调谐光源的出光口位于所述探测光路的入光口侧；所述光谱测量单元的入光口位于所述探测光路的第一出光口侧，所述探测光路的第二出光口位于待测薄膜的表面的正对面； 所述探测光路用于引导所述波长可调谐光源产生的入射光照射至所述待测薄膜的表面发生反射，并将反射光束引导至所述光谱测量单元中； 所述光谱测量单元用于利用所述反射光束测量包含所述待测薄膜的面阵膜厚信息的反射光谱。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人复拓科学仪器(苏州)有限公司，其通讯地址为：215500 江苏省苏州市常熟市云深路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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