上海芯立电子科技有限公司文冬获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种溅射台用溅射腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223357728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422854496.0，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射台用溅射腔是由文冬;秦宝宏;辛奇;徐锋;郭杰;闫乐成;胡凯设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射台用溅射腔在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种溅射台用溅射腔，涉及溅射台技术领域，包括溅射腔本体，所述溅射腔本体的下端设置有摆动机构，所述溅射腔本体的内部设置有限位机构；所述摆动机构包括固定板和凹形架板，所述凹形架板的下端转动安装有传动杆，所述固定板的下端设置有齿皮带传动组件，所述固定板的上端固定安装有伺服电机，所述凹形架板的中间转动安装有转杆，所述转杆的外壁固定安装有两组椭圆板，所述转杆的外壁固定安装有连接块，所述传动杆的上端固定安装有圆盘。本实用新型，能够带动基片进行来回摆动，使溅射原子能够均匀地沉积在基片的圆周方向，提高了靶材的整体利用率，降低了靶材的消耗和成本。
本实用新型一种溅射台用溅射腔在权利要求书中公布了：1.一种溅射台用溅射腔，包括溅射腔本体1，其特征在于：所述溅射腔本体1的下端设置有摆动机构2，所述溅射腔本体1的内部设置有限位机构3； 所述摆动机构2包括固定板21和凹形架板22，所述凹形架板22的下端转动安装有传动杆23，所述固定板21的下端设置有齿皮带传动组件24，所述固定板21的上端固定安装有伺服电机25，所述凹形架板22的中间转动安装有转杆26，所述转杆26的外壁固定安装有两组椭圆板27，所述转杆26的外壁固定安装有连接块28，所述传动杆23的上端固定安装有圆盘29，两组所述椭圆板27的中间固定安装有长杆211，所述长杆211的外壁滑动安装有活动块210。
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