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TCL环鑫半导体(天津)有限公司李天龙获国家专利权

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龙图腾网获悉TCL环鑫半导体(天津)有限公司申请的专利一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223355211U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422844188.X,技术领域涉及:B41F23/04;该实用新型一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉是由李天龙;魏文博;范玉丰;黄志焕;徐长坡;丰小伟;白红宾;王喻印;李斌;常旭设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉,涉及晶圆加工技术领域,以解决现有技术中存在的由于晶圆置于烘干板的中间,晶圆的边缘在移动杆的位置无法受到烘干板的加热烘干,且烘干板仅设计一个温区,存在局部未彻底烘干,晶圆受热不均,影响产品的质量及产量的技术问题。包括烘板主体、传送组件和加热组件,其中,烘板主体上设置传送组件,传送组件用于传送待烘干晶圆,烘板主体的宽度不小于待烘干晶圆的直径;加热组件设置至少三组,三组加热组件沿烘板主体的长度方向依次布置,本实用新型的有益效果是使晶圆的受热均匀性更好,解决晶圆在印刷后局部玻璃粉无法烘干、晶圆漏电的问题,提高产品的质量及产量。

本实用新型一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉在权利要求书中公布了:1.一种玻璃钝化印刷用烘干板,其特征在于,包括烘板主体、传送组件和加热组件,其中: 所述烘板主体上设置所述传送组件,所述传送组件用于传送待烘干晶圆,所述烘板主体的宽度不小于所述待烘干晶圆的直径; 所述加热组件设置至少三组,三组所述加热组件沿所述烘板主体的长度方向依次布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人TCL环鑫半导体(天津)有限公司,其通讯地址为:300384 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号A座二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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