无锡芯汉电子科技有限公司唐建成获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯汉电子科技有限公司申请的专利薄膜沉积设备用液气转化机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223357744U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422806817.X，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型薄膜沉积设备用液气转化机构是由唐建成设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积设备用液气转化机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了薄膜沉积设备用液气转化机构，属于液气转化机构技术领域，包括加热机座和存放容器，存放容器设置在加热机座的上方，存放容器的上方设置有出气管，存放容器的内部设置有拨水机构，拨水机构包括从动转板、铰接连杆、升降滑套和升降拨架，从动转板转动连接在存放容器的内腔中；本实用新型通过设置的蒸汽驱动机构，蒸发形成的气态前驱体在通过出气管时会对内部转动连接的主动转板产生不同程度的顶动，这样主动转板在蒸汽的作用下产生的持续抖动力通过主动轮、传动带和从动轮传递到从动转板上，从而实现充分利用蒸汽发生的动力在加热过程中促进液态前驱体的流动性并增强热量散发的作用。
本实用新型薄膜沉积设备用液气转化机构在权利要求书中公布了：1.薄膜沉积设备用液气转化机构，包括加热机座1和存放容器2，所述存放容器2设置在加热机座1的上方，其特征在于：所述存放容器2的上方设置有出气管4，所述存放容器2的内部设置有拨水机构，所述拨水机构包括从动转板11、铰接连杆12、升降滑套15和升降拨架16，所述从动转板11转动连接在存放容器2的内腔中，所述升降拨架16滑动连接在存放容器2的内腔中，所述升降滑套15嵌设固定在升降拨架16的中心处，所述铰接连杆12铰接在升降滑套15与从动转板11之间，所述出气管4的内部设置有蒸汽驱动机构，所述蒸汽驱动机构包括主动转板5、主动轮7、传动带8和从动轮9，所述主动转板5通过转轴转动连接在出气管4上，所述主动轮7固定在主动转板5的转动另一端，所述从动轮9固定在从动转板11的转轴另一端，所述传动带8啮合连接在主动轮7与从动轮9之间。
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