宁波润平电子材料有限公司惠宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波润平电子材料有限公司申请的专利一种用于化学机械平坦化的研磨头及研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223353955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422793230.X,技术领域涉及:B24B37/11;该实用新型一种用于化学机械平坦化的研磨头及研磨装置是由惠宏业;高正阳;姚力军;左威;柏钧天;赵梓聿;叶杰克设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学机械平坦化的研磨头及研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种用于化学机械平坦化的研磨头及研磨装置,所述的研磨头包括可拆卸连接的主体部与紧固环,所述主体部包括研磨主体、保持环与夹持环,所述保持环与所述研磨主体同轴设置,并依次层叠设置于所述夹持环的内部;所述紧固环包括环形本体,所述环形本体套设在所述夹持环的外部,所述环形本体的底部内壁设置有呈环形的限位凸缘,所述限位凸缘的表面开设有若干个定位通孔,所述定位通孔用于连接所述夹持环。本实用新型的研磨头利用紧固环进行锁紧,耐磨且抗冲击,还简化了组装零部件与装配步骤。
本实用新型一种用于化学机械平坦化的研磨头及研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种用于化学机械平坦化的研磨头,其特征在于,所述的研磨头包括可拆卸连接的主体部与紧固环,所述主体部包括研磨主体、保持环与夹持环,所述保持环与所述研磨主体同轴设置,并依次层叠设置于所述夹持环的内部; 所述紧固环包括环形本体,所述环形本体套设在所述夹持环的外部,所述环形本体的底部内壁设置有呈环形的限位凸缘,所述限位凸缘的表面开设有若干个定位通孔,所述定位通孔用于连接所述夹持环。
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