无锡芯卓湖光半导体有限公司刘金获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯卓湖光半导体有限公司申请的专利半导体生产系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223360440U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422801307.3，技术领域涉及：F17D1/02；该实用新型半导体生产系统是由刘金;张京晶设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体生产系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体生产系统，属于半导体制造技术领域。半导体生产系统包括主管路、监测模块和旁通支路，主管路上依次设置有供气装置、工艺设备和废气处理装置；监测模块设置于主管路上并位于供气装置和工艺设备之间；旁通支路的一端设置于供气装置的出口端和工艺设备的进口端之间，旁通支路的另一端与废气处理装置的进口端相连，旁通支路和主管路可选择地连通。通过在主管路上设置实时检测是否有气体流入工艺设备以及与主管路可选择连通的旁通支路，以实现流出供气装置的气体能直接流入至废气处理装置，有助于减少主管路以及供气装置的出口端、工艺设备的进口端出现堵塞的情况，从而提高整个半导体生产系统的灵活性和安全性。
本实用新型半导体生产系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产系统，其特征在于，包括： 主管路，所述主管路上依次设置有供气装置、工艺设备和废气处理装置； 监测模块，设置于主管路上并位于所述供气装置和所述工艺设备之间，用于检测是否有气体流入所述工艺设备； 旁通支路，所述旁通支路的一端设置于所述供气装置的出口端和所述工艺设备的进口端之间，所述旁通支路的另一端与所述废气处理装置的进口端相连，所述旁通支路和所述主管路可选择地连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡芯卓湖光半导体有限公司，其通讯地址为：214161 江苏省无锡市滨湖区胡埭工业园刘闾路29号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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