苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司邹同征获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请的专利一种MEMS振镜的驱动机构及MEMS振镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223362440U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422765920.4，技术领域涉及：G02B26/06；该实用新型一种MEMS振镜的驱动机构及MEMS振镜是由邹同征设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS振镜的驱动机构及MEMS振镜在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MEMS振镜的驱动机构及MEMS振镜，涉及MEMS振镜技术领域。驱动机构的第一金属层包括第一图形化电路和间隔设置的多个定位块，且所有定位块与第一图形化电路间隔设置，介质膜层位于第一金属层的顶面，介质膜层包括与定位块一一对应设置的多个定位孔，第二金属层设置于介质膜层的顶面，第二金属层包括与定位孔一一对应设置的多个定位凸起和第二图形化电路，定位凸起设置成其一端与第二图形化电路抵接，另一端穿设于对应的定位孔与对应的定位块抵接，以对第二金属层进行限位。本实用新型制备的驱动机构具有较强的结构稳定性，能够增加第二图形化电路发生相对分层或滑移时的阻力，实现第二金属层的固定。
本实用新型一种MEMS振镜的驱动机构及MEMS振镜在权利要求书中公布了：1.一种MEMS振镜的驱动机构，其特征在于，包括： 第一金属层，位于衬底的顶面，所述第一金属层包括第一图形化电路和间隔设置的多个定位块，且所有所述定位块与所述第一图形化电路间隔设置； 介质膜层，位于所述第一金属层的顶面，所述介质膜层包括与所述定位块一一对应设置的多个定位孔； 第二金属层，设置于所述介质膜层的顶面，所述第二金属层包括与所述定位孔一一对应设置的多个定位凸起和第二图形化电路，所述定位凸起设置成其一端与所述第二图形化电路抵接，另一端穿设于对应的所述定位孔与对应的所述定位块抵接，以对所述第二金属层进行限位；其中， 所述第一金属层、所述介质膜层和所述第二金属层通过PECVD技术制备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢1楼2楼3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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